真空爐FB系列 安裝了EGR冷卻器、散熱器、蒸發器等各種熱交換器的真空爐設備。公司開發了從批次式到連續爐的豐富產品系列。同時面向特殊用途的設備定制。

小型凍結真空干燥設備DFM系列 醫藥域的少量生產以及，實驗用凍結真空干燥設備。具有省空間、低價格、高功能等實驗用途要求。為了滿足這樣的需求，愛發科商品化了DFM系列設備。

自動氦檢漏設備ALT·S系列（SUPER ALT）使用He作為檢知氣體的設備。應用ULVAC技術，運用全新機構，使得省空間、高速、全自動處理成為可能。

真空蒸餾設備CEH系列 該設備的用途是真空蒸餾處理。可在真空下低溫短時間蒸餾熱感受性高的物質（熱分解·重重合的物質）。具有非常優異的分離效率。

PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用的退火設備。可最大對應φ 150mm。

Batch式高真空蒸發設備ei系列是可對應在基板上成金屬膜或氧化物膜的設備。可通過操作面板實現抽真空、成膜等作業內容的集中自動化操作，適用于研究開發及少量生產。