離子束濺射 （IBD） 光學鍍膜系統

的交鑰匙制造 使用 Veeco 的 SPECTOR® 離子束濺射 （IBD） 光學鍍膜系統，實現更高的精度和薄膜工藝靈活性。SPECTOR IBD 光學鍍膜系統具有多種夾具、目標組件和光學監控系統選項，可滿足幾乎所有光學薄膜制造應用的產量和器件性能要求。

SPECTOR 雙離子束濺射系統

• 可互換的平臺可容納行星式、簡單旋轉或翻轉式夾具

• 為電信應用提供 200、100 和 50 GHz DWDM 濾波器的高產量

• 滿足嚴格的器件規格，如窄通帶、寬阻帶、陡斜率和低插入損耗

• 生產增透膜、復雜的非四分之一波鍍膜和超低損耗激光反射鏡

• 制造具有個位數 ppm 水平的吸收和散射的鏡子

• 高能工藝提供更好的堆積密度和低針孔密度

• 低壓操作提供高薄膜純度

  
  

SOURCERER系統管理器具有的圖形界面，具有實時和動畫運動功能，與市場上任何其他離子束系統控制包相比，SOURCERER®系統管理器提供了更多的控制和靈活性。使用簡單的命令或易于導入的薄膜設計，工藝工程師可以開發先進的自動化配方，開始工藝運行，并在運行完成后返回。結合 Veeco 的工藝知識和響應迅速的全球服務組織，我們在售前和售后都設定了標準。