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            無掩模直接成像儀光刻機
            
            
            簡要描述：PG 300 DI 是一款體積圖案發生器，專為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結構而設計。它源自掩模制作工具，具有所有先進的 VPG 系統組件，能夠以最高的精度和準確度進行書寫。最大寫入區域覆蓋 300 mm 晶圓。
            VPG 300 DI 系統的目標用途主要是學術和工業研究與開發，這些領域需要高靈活性和小于 2 μm 的特性。該系統可滿足各種應用的需求，包括產品原型制作、MEMS、與其他工具的
            
            
              
    
            • 產品型號：VPG 300 DI
              • 
    
            • 廠商性質：經銷商
              • 
    
            • 更新時間：2024-09-05
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            • 訪  問  量： 316
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            詳細介紹
            
            
            
            	
            產品概述：
            PG 300 DI 是一款體積圖案發生器，為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結構而設計。它源自掩模制作工具，具有所有先進的 VPG 系統組件，能夠以高的精度和準確度進行書寫。大寫入區域覆蓋 。
            寫入模式
            一
            二
            寫作表現


            小特征尺寸 [μm]
            0.5
            0.8
            小行數和間距 [μm]
            0.8
            1.2
            地址網格 [nm]
            4
            8
            邊緣粗糙度 [3σ， nm]
            30
            40
            CD均勻度 [3σ， nm]
            50
            60
            2鼈層對齊（全局）[nm]
            100
            130
            寫入速度 [mm2/分鐘]
            340*
            1020*
            *快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒有規格


            100 x 100 mm 的曝光時間2面積 [min]
            39
            17
             
            系統特點

            光源
            355 nm 的高功率 DPSS 激光器
            大基板尺寸和寫入面積
            300 x 300 毫米2
            基板厚度
            0 至 12 mm （可根據要求提供其他厚度）
            大曝光面積
            300 x 300 毫米2
            自動對焦
            實時自動對焦系統（光學和氣動）
            自動對焦補償范圍
            高達 80 μm
            流量箱
            （閉環）溫控環境試驗箱
            對準和計量
            用于測量和對準的相機系統和軟件包
            其他功能和選項
            100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動處理和預對準。光學邊緣檢測、頂部對準以及可選的紅外和背面對準。Zerodur® 載物臺和高分辨率差分干涉儀
            系統尺寸


            系統 / 電子機架
            寬度 [mm]
            2605 / 800
            深度 [mm]
            1652 / 650
            高度 [mm]
            2102 / 1800
            重量 [kg]
            3550 / 180
            安裝要求

            電氣
            400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
            壓縮空氣
            6 - 10 巴
             



            
            
            
            
            
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                請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7
            
              
		
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