無掩膜光刻機

1. 產品概述

BIO系列是生命科學版的無掩膜紫外光刻機，該設備具有更高的深寬比，能滿足生命科學域的特殊需求。它主要用于制備像微流控芯片之類的具有特定需求的樣品 。在微流控芯片的制造過程中，其高深寬比和高靈活性的特點得以展現，可確保芯片的質量和性能。這使得它成為生命科學研究和相關應用中的重要工具。BIO 系列的出現為生命科學域帶來了新的機遇，有助于推動相關技術的發展和創新，為科學研究和實際應用提供有力支持。

特征尺寸1μm

無掩膜光刻機

高深比

2. 應用領域

微流道芯片

二維材料

光學掩膜版

MEMS器件

灰度光刻

特殊微納結構

3. 公司概要

托托科技（蘇州）有限公司是一家注于顯微光學加工和顯微光學檢測域的公司，在基于數字微鏡器件的無掩膜光刻技術域中進行了數年的深入研究和技術積累，其研制和生產的無掩膜紫外光刻機一經問世，就受到了諸多客戶的青睞，在科研和工業域都有廣泛的應用。例如，在微納加工域，可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等；在光電子域，可以用于制作光柵、衍射光學元件等。

托托科技致力于設備底層技術的研究和積累，不斷尋求技術的突破，努力為客戶帶來更好的設備和更好的使用體驗，幫助客戶創造更高的價值。