詳細介紹
吞吐量和每片晶圓擁有成本
批量配置中的單片性能,可實現出色的外延層質量
兼容硅晶圓廠的自動化技術支持碳化硅電源市場加速增長
帶熱晶圓轉移的行星式反應器
在生長室中高效利用氣體
晶圓級溫度控制
晶圓盒到晶圓盒處理
快速外延處理
8x150 mm 配置,單晶圓旋轉
AutoSat功能,確保批次內的均勻性
SECS-GEM工廠接
吞吐量和每片晶圓擁有成本
批量配置中的單片性能,可實現出色的外延層質量
兼容硅晶圓廠的自動化技術支持碳化硅電源市場加速增長
帶熱晶圓轉移的行星式反應器
在生長室中高效利用氣體
晶圓級溫度控制
晶圓盒到晶圓盒處理
快速外延處理
8x150 mm 配置,單晶圓旋轉
AutoSat功能,確保批次內的均勻性
SECS-GEM工廠接口
產品咨詢