薄膜計量膜厚探頭

1. 產品概述

FTPadv是一種經濟高效的臺式光譜反射解決方案，具有快速厚度測量功能。測量時間不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范圍為 50 nm – 25 μm。包括一系列預定義的配方，便于光譜反射儀操作。

2. 主要功能與優勢

獲得薄膜厚度的短方法

通過選擇并開始適當的配方，SENTECH FTPadv 反射儀可在不到 100 ms 的時間內完成厚度測量，精度小于 0.3 nm，厚度范圍為 30 nm – 25 μm。

AutoModel 功能和基于 SE 的材料庫

通過比較測得的反射光譜和光譜庫，可以將操作員的誤差降低。基于SENTECH的橢圓偏振光譜儀測量的大型材料庫，為新材料的光學常數測量提供了方法。

應用業知識

30 多年來，SENTECH 已成功銷售用于各種應用的 FTPadv 膜厚探頭。這款臺式反射儀可在工業或研究環境中，通過遠程或直接控制，在低溫或高溫下，原位或在線測量小樣品到大窗玻璃的厚度。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH FTPadv的一個關鍵特性是可以測量多層樣品中任何層的厚度，這使得FTPadv成為膜厚測量的理想、經濟高效的解決方案。用于過程控制的FTPadv包括一個帶有柱子和樣品架的光纖束、一個帶鹵素燈的穩定光源以及FTP光學器件和控制器站。通過LAN連接到PC，可以在惡劣的工業應用環境、受到特殊保護的房間或大型機械中遠程控制工具。

反射儀 FTPadv 帶有大量預定義的配方，例如半導體上的電介質、半導體上的半導體、硅上的聚合物、透明基板上的薄膜、金屬基板上的薄膜等。自動建模功能允許通過與光譜庫進行比較來快速檢測樣品類型。該反射儀將操作員錯誤降低。通過光學反射測量薄膜厚度從未如此簡單。

FTPadv菜單驅動的操作軟件允許在出色的操作員指導下對單層和多層結構進行厚度測量。此外，它還具有強大的分析工具和出色的報告功能。額外的映射軟件可用于控制電動樣品臺。將軟件升到軟件包FTPadv EXPERT，用于反射測量的高分析，通過應用具有未知或不同光學特性的材料，擴展了標準軟件包。因此，可以進行厚度測量以及單片薄膜的折射率和消光系數分析。