薄膜計量光譜儀軟件

1. 產品概述

SpectraRay/4 是 SENTECH 有的光譜橢圓偏振儀軟件，包括橢圓、反射和透射數據的數據采集、建模、擬合和擴展報告。它支持可變角度、多實驗和組合光度測量。 包括一個基于 SENTECH 厚度測量和文獻數據的龐大而全面的材料數據庫。大量的色散模型允許對幾乎任何類型的材料進行建模。

2. 映射

我們的光譜橢圓偏振儀的映射選項具有預定義或用戶定義的模式、廣泛的統計數據以及以 2D 顏色、灰色、等高線、+/- 與平均值的偏差和 3D 繪圖等圖形顯示數據。

3. 模擬

測量參數可以模擬為波長、光子能量、倒數厘米、入射角、時間、溫度、薄膜厚度測量和其他參數的函數。

4. 交互模式

設置測量參數并開始薄膜厚度測量

通過從材料庫拖放或從現有的色散模型中拖放來構建模型

定義和改變參數，使計算出的光譜與測量的光譜擬合

以交互方式改進模型，實現佳品質因數

通過從預定義或自定義的模板中進行選擇，將結果報告為 word 文檔

將所有實驗數據、實驗方案和注釋保存在一個實驗文件中

5. 配方模式

SpectraRay/4 配方模式的優點是兩步操作：

選擇和

從庫中執行預定義的配方。

配方包括厚度測量參數、模型、擬合參數和報告模板。 

6. 靈活性和模塊化

SpectraRay/4 具有單軸和雙軸各向異性材料測量、薄膜厚度測量和層測量功能。該軟件可處理去化、不均勻性、散射（Mueller 矩陣）和背面反射等樣品效應。

該軟件包括通用光譜橢圓偏振法軟件包的所有實用程序，用于數據導入和導出（包括 ASCII）、文件管理、光譜的算術操作、顯示、打印和報告（Word 文件格式 *.doc）。腳本編寫功能使其非常靈活，可以自動執行常規測量，為要求苛刻的應用進行定制，并控制第三方硬件，如傳感器、加熱臺、樣品池或低溫恒溫器。