詳細介紹
更佳的均勻性以及靈活的溫度范圍, 最高可達1200°C
700°C、800°C或1200°C工作臺可供選擇
樣品尺寸可達200mm
真空傳送腔——快速更換樣品
冷壁設計并輔以可均勻輸送氣體/液體源前驅體的噴頭
可選的液體/固體源前驅體輸送系統,用于生長MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料
應用:
二維材料 生長
MoS2 生長
石墨烯 生長
一維材料 生長
碳納米管(CNT)生長
氣柜 —— 包含額外的氣體管線,提供更大的靈活性
渦輪分子真空泵 —— 提供泵送速度加快氣體的流動速度
光學終點探測—— 實現更好工藝結果的重要工具
TEOS液位傳感 —— 使用安裝在TEOS罐上的超聲波液位傳感器實現液位傳感
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